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硼离子用什么衬底

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SiO2膜。SiO2膜具有良好的化学稳定性和绝缘性能，可阻挡杂质离子的渗透，保护硼离子薄膜，提高硼离子器件的稳定性和性能，用SiO2膜衬底。

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