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窄沟道对电容影响

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理想模型沟道变窄和沟道宽度较大。
1、理想模型沟道变窄使阈值电压发生变化的物理本质是:栅电极的边缘场使得场氧化层下的表面耗尽区的空间电荷有所增加。
2、当沟道宽度较大时,耗尽层向两侧的扩展部分可以忽略,但是沟道变窄时,边缘场造成的耗尽层扩展变得不可忽略。

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