专利名称：一种光刻胶组合物专利类型：发明专利
发明人：曹成波,王灵平,沈新春,周晨,王名扬申请号：CN201110179470.5申请日：20110629公开号：CN102279523A公开日：20111214
摘要：本发明公开了一种光刻胶组合物，包括：a.在曝露于辐射时形成碱的含不饱和烃基的双环胍光碱产生剂，数量足以引发聚合物交联；b.含有酯基的水溶性聚合物；c.含有羟基的水溶性聚合物；d.溶剂。含不饱和烃基的双环胍光碱产生剂、含有酯基的水溶性聚合物、含有羟基的水溶性聚合物的质量比优选为1∶5～20∶5～20。本发明采用水溶性好的聚合物，避免有机溶剂的污染，且易得到均匀薄膜，含不饱和烃基的双环胍光碱产生剂制备方法简单，主要原料已商业化，成本低，吸收光谱宽(190～280nm)、光激发效率高，催化活性高。
申请人：山东大学
地址：250061 山东省济南市历下区经十路17923号
国籍：CN
代理机构：济南圣达知识产权代理有限公司
代理人：王立晓
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