扫描电子显微镜内应变检测型原位划痕测试装置及方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201410149078.X （22）申请日 2014.04.14 （71）申请人 吉林大学

地址 130012 吉林省长春市前进大街2699号

（10）申请公布号 CN103913389A

（43）申请公布日 2014.07.09

（72）发明人 黄虎;赵宏伟;刘彦超;时月;杜雨萌

（74）专利代理机构 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司

代理人 王怡敏

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

扫描电子显微镜内应变检测型原位划痕测试装置及方法

（57）摘要

本发明涉及一种扫描电子显微镜内应变检

测型原位划痕测试装置及方法，属于材料性能原位测试领域。包括基座、横向力与轴向力测试传感器、定位部分，定位部分包括粘滑驱动器A、粘滑驱动器B和粘滑驱动器C，并分别与基座连接；横向力与轴向力测试传感器由弹性体、x向/横向力测量应变片组和y向/轴向力测量应变片组成，并通过连接件与滑驱动器A连接。优点在于：装置结构紧凑，尺寸仅为

97mm×40mm×44.5mm，可方便安装在扫描电子显微镜载物台上，不仅能实现材料划痕过程的原位动态监测，而且可以实现划痕过程中横向力与轴向力的同步测量，为研究材料划痕过程中变形、损伤机理提供崭新的技术手段，在材料学、精密加工、摩擦学等领域具有潜在的应用前景。

法律状态

法律状态公告日2014-07-09 2014-08-06 2016-02-03

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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公开

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权利要求说明书

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说明书

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