专利名称：一种薄膜体声波谐振器及通信器件专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN201910261666.5申请日：20190402公开号：CN110061713A公开日：20190726
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其通信器件，该谐振器包括衬底，衬底的上表面设有凹槽，凹槽设有边界，衬底上依次设有底电极层、压电层与顶电极层，底电极层与压电层之间设置第一温度补偿层，压电层与顶电极层之间设置第二温度补偿层，压电层面向第一温度补偿层的一侧与面向第二温度补偿层的另一侧分别设置有保护腔，第一温度补偿层与第二温度补偿层分别放置于保护腔中，保护腔的长度延伸出凹槽的边界。上述谐振器通过在压电层靠近温度补偿层的一侧设置保护腔体，并将温度补偿层嵌入保护腔体中，使其端部覆盖较厚的压电材料并发挥保护作用，有效减弱刻蚀液的浸透能力，从而避免温度补偿层被牺牲层刻蚀液侵蚀，确保谐振器的温度稳定性。
申请人：嘉兴宏蓝电子技术有限公司
地址：314200 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴二路988号综合楼208室
国籍：CN
代理机构：北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：李明
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