专利名称：一种导电膜、其制备方法和应用专利类型：发明专利
发明人：周明杰,王平,陈吉星,冯小明申请号：CN201110055809.0申请日：20110309公开号：CN102676992A公开日：20120919
摘要：本发明适用于光电材料技术领域，提供了一种导电膜，其制备方法和应用。该导电膜制备方法包括：将三氧化二铝、二氧化硅掺杂于氧化锌混合，烧结作为靶材；所述混合物中三氧化二铝的质量百分含量为0.5％～3％，所述二氧化硅的质量百分含量为0.5％-1.5％，余量为所述氧化锌；将所述靶材装入磁控溅射腔体内，所述磁控溅射中在垂直于溅射粒子飞行方向施加线圈匝数为50N～500N，励磁电流为0.1A～5A的电磁场，得到导电膜。采用本发明的制备方法能够提高导电膜的结晶质量，降低电阻率。
申请人：海洋王照明科技股份有限公司,深圳市海洋王照明技术有限公司
地址：518052 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层
国籍：CN
代理机构：深圳中一专利商标事务所
代理人：张全文
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