专利名称：辐射固化的涂层专利类型：发明专利发明人：J·托品,D·安东尼申请号：CN200980138417.1申请日：20090924公开号：CN1021684A公开日：20110824
摘要：一种用于涂覆基片的工艺包括将可辐射固化材料凝结在基片上并使用具有6.5eV与300eV之间能量的电子通量6’使材料固化。电子通量6’与前驱体材料(5’)的传输同时或在此之后指向基片(2)处。较佳地，在空间上和时间上与将材料传输至基片同步地开始固化。较佳地使用具有相对于局部电压状况为负的驱动电压的低压气体等离子体源来产生电子通量。低压气体等离子体(6’)较佳地被磁性增强，并且例如结合有磁控管。
申请人：凯姆梵克有限公司
地址：英国诺福克
国籍：GB
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：顾峻峰
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