专利名称：物理量传感器及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：矶贝俊树,石原正人,林道孝,板仓敏和申请号：CN200810169133.6申请日：20050908公开号：CN101398402A公开日：20090401
摘要：物理量传感器及其制造方法。一种电容型湿度传感器包括：检测衬底，其包括置于检测衬底第一侧上的检测部分；包括电路部分的电路板。检测部分根据检测部分的电容变化而对湿度进行检测。电路部分将检测部分的电容变化处理为电信号。检测衬底还包括置于检测衬底第二侧上的传感器垫。传感器垫通过位于检测衬底的通孔中的导体而电连接于检测部分上。
申请人：株式会社日本自动车部品综合研究所,株式会社电装
地址：日本爱知县西尾市
国籍：JP
代理机构：中国专利代理()有限公司
代理人：何自刚
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