电子束光刻技术制备图案化碳纳米结构材料的方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910117348.8 （22）申请日 2009.06.27 （71）申请人兰州大学

地址 730000 甘肃省兰州市城关区天水南路222号

（10）申请公布号 CN101613099A

（43）申请公布日 2009.12.30

（72）发明人段辉高;谢二庆;刘延霞;赵建果;张洪亮;张永哲（74）专利代理机构兰州中科华西专利代理有限公司

代理人张英荷

（51）Int.CI

C01B31/02; B82B3/00; G03F7/20; G03F7/32;

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

电子束光刻技术制备图案化碳纳米结构材料的方法

（57）摘要

本发明提供了一种采用电子束曝光聚甲基

丙烯酸甲酯薄膜制备图案化碳纳米材料的方法。该方法是先在约1×10

法律状态

法律状态公告日

2009-12-30 2010-02-24 2012-04-18

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

实质审查的生效

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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