氧化锌半导体材料及其制备方法、半导体器件以及空调器

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201810144086.3 （22）申请日 2018.02.10

（71）申请人 广东美的制冷设备有限公司;美的集团股份有限公司

地址 528311 广东省佛山市顺德区北滘镇林港路

（10）申请公布号 CN108364855A

（43）申请公布日 2018.08.03

（72）发明人 苏宇泉;冯宇翔;毕晓猛

（74）专利代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所

代理人 胡海国

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

氧化锌半导体材料及其制备方法、半导体器件以及空调器

（57）摘要

本发明公开一种氧化锌半导体材料及其制

备方法、半导体器件以及空调器；所述氧化锌半导体材料的制备方法包括以下步骤：首先制备氧化锌缓冲层；其次在所述缓冲层上继续生长氧化锌薄膜，并在所述氧化锌薄膜中掺入第一元素和第二元素；所述第一元素的离子半径小于锌离子的半径，所述第二元素的离子半径大于氧离子的离子半径；最后对所述氧化锌薄膜进行升温后做退火处理。本发明技术方案通过在氧化锌薄膜中

掺入两种不同类型的元素，以使第一元素和氧离子结合形成新的晶格引入了压应力，第二元素和锌离子结合形成新的晶格引入了张应力，在宏观上，氧化锌薄膜内部的拉应力和压应力会相互抵消，以形成了稳定的P型掺杂氧化锌半导体材料。

法律状态

法律状态公告日2018-08-03 2018-08-03 2018-08-28

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

法律状态

公开 公开

实质审查的生效

权利要求说明书

氧化锌半导体材料及其制备方法、半导体器件以及空调器的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

氧化锌半导体材料及其制备方法、半导体器件以及空调器的说明书内容是....请下载后查看