差动变面积式电容传感器性能测试
一、实验目的：
1、了解差动变面积式电容传感器的原理； 2、了解差动变面积式电容传感器的特性。 二、实验内容：
1、差动变面积式电容传感器的静态特性； 2、差动变面积式电容传感器的动态特性。 （一）差动变面积式电容传感器的静态及动态特性 实验单元及附件：
电容传感器 电压放大器 低通滤波器 F/V表 激振器 示波器。 实验原理：
电容式传感器有多种形式，本仪器中差动变面积式。传感器由两组定片和一组动片组成。如将上层定片与动片形成的电容为Cx1,下层定片与动片形成的电容定为Cx2,当将Cx1 和Cx2 接入桥路作为相邻两臂时，桥路的输出电压与电容量的变化有关，即与振动台的位移有对应关系。 实验步骤：
（1） 按图6接线。
图6
（2）F/V表打到20V，在整个行程范围内调节测微头，观察电压表输出变化是否正常（应当连续变化，且基本对称），如不正常，请指导教师调整传感器结构。
（3）转动测微头从最上端（电容动片与上静片复盖面积最大处）开始测量，每间隔0.1mm，记下一组数据（位置及电压），直至电容动片与下静片复盖面积最大为止。注意测
量过程中记录电压为零的准确位置X0= mm，作为零位。
位置(mm) 位移X(mm) U(mv) 位置：测微器读数，位移：各点位置减去零位X0
(4)计算系统灵敏度S：S=△V/△X（式中△V为电压变化，△X为相应的梁端位移变化），并作出V-X关系曲线。
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容