一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用[发明专利]

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专利名称：一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应

用

专利类型：发明专利

发明人：邵慧慧,徐现刚,于果蕾,刘成成,李沛旭申请号：CN201611267205.1申请日：20161231公开号：CN108269888A公开日：20180710

摘要：本发明涉及一种利用激光刻蚀制备蓝宝石图形衬底的方法及应用，属于光电子技术领域，包括以下步骤：(1)在蓝宝石衬底上沉积一层光刻胶掩膜；(2)利用光刻对版进行曝光；(3)显影出光刻胶图形；(4)利用光刻胶做掩膜，激光刻蚀蓝宝石衬底，得到半球状蓝宝石图形衬底；(5)清洗衬底，利用加热的浓硫酸清洗衬底，得到半球状蓝宝石图形衬底。本发明通过光刻胶作掩膜，利用激光刻蚀光刻胶掩膜，有效的利用激光刻蚀过程中的钻蚀性制备出半球状图形衬底。解决了干法刻蚀蓝宝石价格比较昂贵的问题，湿法腐蚀图形失真的问题，工艺简单，便于操作，效率高，同时降低生产成本。

申请人：山东华光光电子股份有限公司

地址：250101 山东省济南市高新(历城)区天辰大街1835号

国籍：CN

代理机构：济南金迪知识产权代理有限公司

代理人：王楠

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