一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚[发明专利]

来源：意榕旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚专利类型：发明专利

发明人：冯博渊,丁孙安,李坊森,冯加贵,何高航,程飞宇,武彪申请号：CN201910766027.4申请日：20190819公开号：CN110491774A公开日：20191122

摘要：本发明涉及一种蓝宝石衬底的表面处理方法及其使用的坩埚，所述方法将蓝宝石衬底置于坩埚上，之后进行退火处理，得到表面为原子级台阶的蓝宝石衬底，本发明所述方法控制所述蓝宝石衬底与坩埚的接触面积≤蓝宝石衬底的单侧表面面积的2％，使得退火处理的过程中热量和气流在蓝宝石衬底表面的分布更加均匀，从而获得表面原子级台阶的蓝宝石衬底，且本发明所述方法的重复性高，同时，本发明还提供了一种用于蓝宝石衬底表面处理的坩埚，所述坩埚包括一端为开口端的柱形壳体，所述开口端用于放置蓝宝石衬底，使得蓝宝石衬底的表面处理过程处理效果及效率更高。

申请人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址：215123 江苏省苏州市苏州工业园区独墅湖高教区若水路398号

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：巩克栋

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文