多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法

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（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201180065676.3 （22）申请日 2011.09.20

（71）申请人信越化学工业株式会社

地址日本东京都

（10）申请公布号 CN103328380A

（43）申请公布日 2013.09.25

（72）发明人黑泽靖志;祢津茂义

（74）专利代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人金龙河

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法

（57）摘要

本发明提供一种得到多晶硅棒的技术，其

中，虽然为高速析出反应，但会抑制多晶硅表面的爆米花产生，不会发生由粉末的产生而引起的重金属污染、突起状异常析出。原料的气体供给喷嘴(9)配置于在圆盘状底板(5)的中央具有中心的假想同心圆（面积S

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态

法律状态公告日

2013-09-25 2013-10-30 2016-09-21

公开

法律状态信息

公开

实质审查的生效授权

法律状态

实质审查的生效授权

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说明书

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