专利名称：偏振同步相移干涉仪专利类型：发明专利
发明人：唐锋,王向朝,冯鹏,郭福东申请号：CN201710312393.3申请日：20170505公开号：CN107036529A公开日：20170811
摘要：一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所
地址：201800 上海市嘉定区上海市800-211邮政信箱
国籍：CN
代理机构：上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人：张宁展
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