工艺故障排除指南(扩散)

来源：意榕旅游网

工艺故障排除指南

多单晶硅太阳电池

工序故障表现诊断 1.炉门没关紧，有源被抽风抽走。2.携带气体大氮量太小，不能将源带到管前。3.管口抽风太大。偏高。1.扩散温度偏低。2.源量不够，不能足够掺杂。3.源温较低于设置20度。4.石英管饱和不够。偏低。1.扩散温度偏高。2.源温较高于20度。扩散扩散片与片间方块电阻不均匀扩散后单片上方块电阻不均匀扩散后硅片上有色斑扩散过程中偏磷酸滴落太阳能电池效率忽高忽低扩散方块电阻正常，但填充因子偏低。措施 1. 由设备人员将炉门重新定位，确保石英门和石英管口很好贴合。 2. 增大携带气体大氮的流量。 3. 将石英门旁边管口抽风减小。扩散不到 1.升高扩散温度，加大源量.2.延长扩散时间。3.增加淀积温度。扩散方块电阻偏高/偏低 1.减小扩散温度。2.减少扩散时间。3.减少淀积温度。重新拉扩散炉管恒温 1.调整扩散气流量，加匀流板。2.调整扩散片与片之间距离。调整甩干机设备及工艺条件长时间扩散后对扩散管定期进行HF浸泡清洗清洗石英管及石英制品，加强扩散间工艺卫生，强化TCA。扩散温度不均匀扩散气流不均匀，单片上源沉积不均匀。甩干机扩散前硅片没甩干扩散间或石英管被污染，特别是在生产线被改造时最明显。品质因子有问题， n趋向于2，方法同上 J02偏大，表明结区复合严重。

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