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版图Dense-3Bar-Dense结构的修正方法[发明专利]

来源：意榕旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：版图Dense-3Bar-Dense结构的修正方法专利类型：发明专利发明人：邹先梅

申请号：CN202011562996.7申请日：20201225公开号：CN112631068A公开日：20210409

摘要：本发明公开了一种版图Dense‑3Bar‑Dense结构的修正方法，包括：将版图中的Dense‑3Bar‑Dense结构选出，将Dense‑3Bar‑Dense结构中3Bar结构每根Bar的各边进行分解区分；选定出3Bar中每根Bar的各边，根据各边所处位置和版图的关键尺寸错位选择出不同长度的边段；对错位选定出来的3Bar的各个边分别进行目标图形优化处理；对进行目标图形优化处理后的版图添加曝光辅助图形。本发明在保证了Dense‑3Bar‑Dense结构的特征尺寸满足设计要求的前提下，降低了3Bar中间线的断线风险，避免了近距离的角对角的产生，并且能避免引起新的3Bar中间线断线和桥连缺陷，通过对Dense‑3Bar‑Dense结构添加曝光辅助图形，进一步提高该结构的景深。

申请人：上海华力集成电路制造有限公司

地址：201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室

国籍：CN

代理机构：上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：焦天雷

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