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一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置[发明专利]

来源：意榕旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触

式激波激励装置

专利类型：发明专利

发明人：佘东生,杨一柳,尹作友,杨祯山,于震申请号：CN201610866920.0申请日：20160930公开号：CN106629584A公开日：20170510

摘要：本发明公开了一种用于MEMS金属微结构动态特性测试的非接触式激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台的Z轴溜板上设有针电极单元，其针电极指向设在支座上端的微结构单元；微结构单元包括固定套，在固定套孔内的环形阶梯处绝缘安装有安装板，在安装板下部设有半圆形通孔，在安装板上通过微结构压板压装MEMS金属微结构；所述针电极和安装板分别与高压电容的两极电联接，在针电极和高压电容之间设有第一空气开关控制通断；高压电容的两极分别电联接至高压电源的正负极，并通过第二空气开关控制通断。该装置能够避免底座结构的振动响应对测试结果的干扰，实现了对金属微结构的非接触式激励，操作简便安全，激励效果好。

申请人：渤海大学

地址：121000 辽宁省锦州市松山新区科技路19号

国籍：CN

代理机构：锦州辽西专利事务所(普通合伙)

代理人：李辉

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