投影系统、曝光设备[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：投影系统、曝光设备专利类型：发明专利发明人：邓银,荐莉莉,王雪燕申请号：CN201910758588.X申请日：20190816公开号：CN110501868A公开日：20191126

摘要：本发明实施例提供一种投影系统、曝光设备，属于曝光技术领域，其可至少部分解决现有的直写曝光技术效率低、成本高的问题。本发明实施例的投影系统包括：第一投影单元，用于将来自n个光源的光投射至图案单元，并在图案单元上形成对应的n个第一光斑，其中，各第一光斑沿第一方向间隔排列，且在垂直于第一方向的第二方向上相互对齐，n为大于或等于2的整数；第二投影单元，用于将来自图案单元的光投射向分光单元；分光单元，用于对来自第二投影单元的、对应不同第一光斑的光进行分光，并在待曝光基板上形成对应的n个第二光斑，其中，任意两个第二光斑在第三方向上至少部分错开设置，所述第三方向对应图案单元上的第二方向。

申请人：银月光学(苏州)有限公司

地址：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道上湖雅苑15幢2304室

国籍：CN

代理机构：北京天昊联合知识产权代理有限公司

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