专利名称：一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器专利类型：发明专利
发明人：吕明,赵剑,刘蓬勃,钟恒,宋嘉濠,孙荣健,郑显泽,唐英
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申请号：CN202011460351.2申请日：20201211公开号：CN112710865A公开日：20210427
摘要：本发明公开了一种基于模态局部化效应的可调加速度传感器，包括：第一固支梁两端分别通过第一固定端和第一质量块固定；第一质量块左端与第一铰接端相连；第一铰接端与第二固定端相连；第二固支梁置于第一固支梁左侧，其两端通过第二固定端和第二质量块固定；第二质量块右端与第二铰接端相连；第二铰接端与第一固定端相连；第一固支梁与第二固支梁之间通过静电耦合，耦合电源输出耦合电压加载在第二固支梁上，用于调整第一固支梁和第二固支梁之间的静电耦合强度；第一固支梁、第二固支梁分别通过第一固定激励电极、第二固定激励电极调节驱动力。本发明能够实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。
申请人：大连理工大学
地址：116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号
国籍：CN
代理机构：大连东方专利代理有限责任公司
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