专利名称：一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统专利类型：实用新型专利
发明人：姚曼文,陈建文,邹培,肖瑞华,彭勇,姚熹申请号：CN201420873372.0申请日：20141230公开号：CN204556740U公开日：20150812
摘要：本实用新型涉及一种薄膜电学特性与击穿特性实时测试系统，包括电学测试装置、显微图像实时采集装置和计算机，所述计算机分别连接电学测试装置和显微图像实时采集装置；所述电学测试装置包括样品装夹座、测试探针和数字源表，所述测试探针设置在样品装夹座上，所述数字源表一端通过电学测试线与测试探针连接，另一端通过数据传输线与计算机连接；所述显微图像实时采集装置包括数据码光学显微模块，该数据码光学显微模块设置在样品装夹座上，并通过数据传输线与计算机连接。与现有技术相比，本实用新型具有易于操作，耗费时间少，直观性好等优点，能够有效分析和评价薄膜材料击穿机理和导致击穿现象发生的原因。
申请人：同济大学
地址：200092 上海市杨浦区四平路1239号
国籍：CN
代理机构：上海科盛知识产权代理有限公司
代理人：赵继明
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