专利名称：一种光膜转换器及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：王奕琼,魏星,冯大增,梁虹,武爱民申请号：CN202010060074.X申请日：20200119公开号：CN111722321A公开日：20200929
摘要：本申请涉及一种光膜转换器及其制备方法，该光膜转换器集成在硅波导上，并与光纤连接。光膜转换器包括衬底层、电介质层、第一波导层和第二波导层；第一波导层包括第一波导和第一电介质槽；第一波导的顶部和第二波导层接触，第一波导的底部和电介质层接触；第一波导的宽度由远离光纤至靠近光纤的一端逐渐增大；第一电介质槽围绕设置于第一波导的外侧；第一电介质槽的底部与电介质层连通；第二波导层包括第二波导；第二波导朝向光纤的端面与第一波导朝向光纤的端面互相配合，用于耦合光纤。本申请通过上述光膜转换器实现光膜尺度从硅波导到光纤的尺度转换，如此，可以降低芯片与光纤光耦合损耗，可以降低光纤成本。
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址：200050 上海市长宁区长宁路865号
国籍：CN
代理机构：广州三环专利商标代理有限公司
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