专利名称：一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方
法
专利类型：发明专利
发明人：徐宗伟,宋莹,刘涛,王虹,吴金桐,刘嘉宇申请号：CN202010838959.8申请日：20200819公开号：CN111965164A公开日：20201120
摘要：本发明涉及一种碳化外延层厚度的共聚焦拉曼光谱深度检测方法，所采用的测量仪器为共聚焦拉曼光谱仪，包含以下步骤：设置共聚焦针孔或狭缝的直径或宽度≤200μm，保证共聚焦拉曼光谱仪的Z向空间分辨能力；选择40‑60倍长工作距离物镜，设置光谱扫描范围覆盖碳化硅的LOPC峰；聚焦碳化硅样品表面，调整样品台位置Z直到表面清晰且激光光斑最小；获得不同深度的拉曼光谱；对不同深度的拉曼光谱中LOPC峰按照如下高斯‑洛伦兹拟合公式进行峰型拟合；得到样品外延层的厚度。
申请人：天津大学
地址：300072 天津市南开区卫津路92号
国籍：CN
代理机构：天津市北洋有限责任专利代理事务所
代理人：程毓英
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