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图像传感器、用于图像传感器的半导体结构及其制造方法[发明专利]

来源:意榕旅游网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:图像传感器、用于图像传感器的半导体结构及其制

造方法

专利类型:发明专利发明人:苏庆忠,卢玠甫申请号:CN201911074862.8申请日:20191106公开号:CN112310128A公开日:20210202

摘要:本公开的各种实施例涉及一种包括电荷释放层的图像传感器。光探测器设置在半导体衬底内。刻蚀停止层上覆在光探测器上。滤色片上覆在刻蚀停止层上。介电栅格结构环绕滤色片。电荷释放层夹置在介电栅格结构与刻蚀停止层之间。电荷释放层环绕滤色片且包含导电材料。电荷释放层直接接触滤色片。

申请人:台湾积体电路制造股份有限公司

地址:中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号

国籍:CN

代理机构:北京派特恩知识产权代理有限公司

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