热式压力传感器及柔性电子皮肤

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201610041771.4 （22）申请日 2016.01.21 （71）申请人 清华大学

地址 100084 北京市海淀区清华园100084-82信箱

（10）申请公布号 CN105606291A

（43）申请公布日 2016.05.25

（72）发明人 朱荣;赵帅

（74）专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司

代理人 李相雨

（51）Int.CI

G01L7/08; G01L1/16;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

热式压力传感器及柔性电子皮肤

（57）摘要

本发明公开了一种热式压力传感器及柔性

电子皮肤，热式压力传感器包括：基底，其上设有第一热敏电阻元件和第一温度补偿电阻元件，第一热敏电阻元件和第一温度补偿电阻元件之上覆盖有预设厚度的弹性膜；柔性电子皮肤包括：柔性基底，其上设有热式压力传感器阵列(包括m行n列个热式压力传感器)、热式流场传感器阵列

(包括p行q列个热式流场传感器)和引线连线；热式压力传感器与热式流场传感器交错间隔排列；引线连线分别与热式压力传感器阵列和热式流场传感器阵列连接。热式压力传感器结构简单、可柔性、灵敏度高，压力测量范围和灵敏度方便可调；柔性电子皮肤集成了触感、温感、风感和附着物感等功能，结构简单、可大面积使用。

法律状态

法律状态公告日2016-05-25 2016-05-25 2016-06-22 2016-06-22 2018-06-15

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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