制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线及其方法[发明专利]

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专利名称：制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线及其

方法

专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN201811028148.0申请日：20180905公开号：CN110878409A公开日：20200313

摘要：本发明涉及一种制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线，包括筒形的腔室，腔室被依次由高阀分隔为样片进入段、低压真空室一、主溅射室、低压真空室二以及样片出仓段，在腔室的顶部设置了有输送带的传送装置，在输送带的下部悬挂有多个放置有待溅射背电极样片的样片支架，高阀自动打开让样片支架通过并在样片支架通过后自动关闭；在主溅射室设置了靶材，主溅射室的传送装置驱动样片支架相对于靶材往复移动，通过进气管道向主溅射室通入氩氧混合气体。本发明还公开了使用该制备太阳能电池背电极的磁控溅射镀膜生产线的方法。本发明可以有效隔绝外界水汽和氧气进入钙钛矿电池中降低它们对钙钛矿电池造成破坏。

申请人：杭州纤纳光电科技有限公司

地址：311121 浙江省杭州市余杭区仓前街道龙潭路7号B幢209室

国籍：CN

代理机构：杭州奥创知识产权代理有限公司

代理人：杨文华

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