专利名称：荧光粉胶涂覆方法、装置、系统、涂覆控制设备及
存储介质
专利类型：发明专利发明人：胡跃明,陈雅倩申请号：CN201910666526.6申请日：20190723公开号：CN110534629A公开日：20191203
摘要：本发明公开了一种荧光粉胶涂覆方法、装置、系统、涂覆控制设备及存储介质，所述方法包括：按照预先建立的多变量涂层厚度分布模型的默认涂覆控制参数，控制涂覆执行机构对LED晶圆进行荧光粉胶涂覆；控制测厚设备测量涂覆后LED晶圆的荧光粉胶涂层厚度；根据荧光粉胶涂层厚度，确定是否需要修正当前涂覆控制参数；若是，则对当前涂覆控制参数进行修正，按照修正后的涂覆控制参数，控制涂覆执行机构对LED晶圆进行荧光粉胶涂覆，并返回控制测厚设备测量涂覆后LED晶圆的荧光粉胶涂层厚度；若否，则控制涂覆执行机构结束下料。本发明具有较强适应性，可以保证大功率白光LED荧光粉胶涂覆的均匀一致性，提高大功率白光LED的涂覆质量和涂覆效率。
申请人：华南理工大学
地址：510640 广东省广州市天河区五山路381号
国籍：CN
代理机构：广州市华学知识产权代理有限公司
代理人：李君
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