专利名称：一种AZO溅射靶的制备方法专利类型：发明专利
发明人：张天舒,陈晨,孔令兵,钱邦正,蒋卫国申请号：CN201710548276.7申请日：20170706公开号：CN107365967A公开日：20171121
摘要：本发明公开一种AZO溅射靶的制备方法，包括以下步骤：将Al(NO)溶液加入纳米ZnO悬浮液中混合均匀，保持搅拌加入沉淀剂，待沉淀完全后进行静置陈化，沉淀物经反复洗涤、干燥、研磨、过筛制得AZO前驱体；将AZO前驱体3～5℃/min升温至100～200℃，保温24小时，再以3℃/min升温至400～600℃，保温3～5小时，即得AlO包覆ZnO的粉体；将包覆粉体进行成型烧结处理后制得AZO溅射靶。本发明有效的避免了AlO在烧结过程中的偏析，加速纳米ZnO在烧结过程中的致密度，有利于制备高电导、高透光率的AZO薄膜。
申请人：安徽拓吉泰新型陶瓷科技有限公司
地址：230012 安徽省合肥市新站区文忠路999号
国籍：CN
代理机构：北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：张清彦
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