专利名称：光栅的制备方法专利类型：发明专利
发明人：席洪柱,张建成,余峰,杨路路申请号：CN201510493965.3申请日：20150812公开号：CN105068167A公开日：20151118
摘要：本发明公开了一种光栅的制备方法，所述制备方法包括：(1)制备光栅原板；(2)在所述光栅原板上设置L个槽宽d不小于d，槽深h不小于h的槽，形成光栅毛坯；(3)将所述光栅毛坯进行电铸；(4)将经过步骤(3)处理的所述光栅毛坯打磨，制得光栅；其中，所述d为光栅的槽宽，所述h为光栅的槽深。该光栅的制备方法能够突破加工设备的最小加工宽度的限制，加工出深宽比大、侧面光滑陡峭的光栅。
申请人：安徽华东光电技术研究所
地址：241000 安徽省芜湖市高新技术产业开发区华夏科技园
国籍：CN
代理机构：北京润平知识产权代理有限公司
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