氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法[发明专利]

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专利名称：氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法专利类型：发明专利

发明人：宋建勋,李少龙,车玉思,舒永春,何季麟申请号：CN202010820246.9申请日：20200814公开号：CN111979563A公开日：20201124

摘要：氧化铟镓锌靶材的电化学回收再利用方法，包括：(1)恒电位电解过程：以氧化铟镓锌为原料，以包含氯化钙的熔融盐为电解质，以第一石墨电极为第一阴极，以第二石墨电极为第一阳极，在惰性气体保护下进行恒电位电解，得到铟镓锌合金；(2)恒电流电解过程：以铟镓锌合金为第二阳极，以氯化铵水溶液为电解液，进行恒电流电解，得到铟镓锌氢氧化物沉淀；(3)煅烧过程：煅烧铟镓锌氢氧化物沉淀，得到纳米级铟镓锌氧化物复合粉体。

申请人：郑州大学

地址：450001 河南省郑州市高新技术开发区科学大道100号

国籍：CN

代理机构：北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙)

代理人：朱春野

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