一种垂直方向角度测量的系统[发明专利]

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专利名称：一种垂直方向角度测量的系统专利类型：发明专利发明人：吴巧艳

申请号：CN201310507667.6申请日：20131024公开号：CN103794446A公开日：20140514

摘要：本发明涉及一种垂直方向角度测量的技术领域，特别是应用在离子注入机某些角度敏感的工艺，并通过精确的结构控制可以精确测量垂直方向的束流角度。一种垂直方向角度测量的系统，包括挡束杯(1)、电机及传动机构(2)、剂量控制器(3)及其内部的档位选择部分(6)、I／V转换及放大部分(7)、ADC转换模块(8)、NI系统(4)及其内部的运动控制板卡UMI-7774(9)、束流采集模块PXI-7842R(10)、运动控制卡PXI-7352(11)、上位机(5)。说明书对一种测量垂直方向角度及控制的方法作出了详细说明，并给出了具体实施例。

申请人：北京中科信电子装备有限公司

地址：101111 北京市通州区光机电一体化产业基地兴光二街6号

国籍：CN

代理机构：长沙正奇专利事务所有限责任公司

代理人：马强

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