专利名称：一种能实现上、下进气切换的化学气相沉积炉及其
应用
专利类型：发明专利发明人：刘汝强
申请号：CN201110457594.5申请日：20111231公开号：CN102534558A公开日：20120704
摘要：本发明涉及一种能够实现气体上、下进气切换的化学气相沉积炉及其应用，它包括炉体、沉积室、进气管和出气管，沉积室设置于炉体内；进气管包括上进气管和下进气管，出气管包括上出气管、下出气管和出气总管；所述的上进气管、下进气管上分别设置有控制阀门；所述的上出气管、下出气管分别设置有控制阀门。本发明克服了传统沉积方式因单一气流进出方式导致产品表面沉积涂覆不均匀的缺陷。
申请人：刘汝强
地址：251200 山东省德州市禹城市南环东路88号
国籍：CN
代理机构：济南金迪知识产权代理有限公司
代理人：吕利敏
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