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耐热性树脂叠层膜与含其的覆金属层的叠层膜以及半导体器件[发明专利]

来源：意榕旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：耐热性树脂叠层膜与含其的覆金属层的叠层膜以及

半导体器件

专利类型：发明专利发明人：渡边拓生,松本悠申请号：CN200580007033.8申请日：20050301公开号：CN1929994A公开日：20070314

摘要：本发明提供了在聚酰亚胺膜等耐热性绝缘膜上叠层了耐热性树脂层的耐热性树脂叠层膜，它是无翘曲的耐热性树脂叠层膜，以及通过耐热性树脂层叠层了耐热性绝缘膜与金属箔的覆金属层的叠层膜，它是在形成布线图案的状态下，没有翘曲的覆金属层的叠层膜。耐热性树脂叠层膜是在耐热性绝缘膜的至少一面上叠层了耐热性树脂层的耐热性树脂叠层膜，其中耐热性树脂层的线膨胀系数k(ppm/℃)在k－10≤k≤k+20(k为耐热性绝缘膜的线膨胀系数)范围。覆金属层的叠层膜是在耐热性树脂叠层膜的耐热性树脂层一侧叠层了金属箔的叠层膜。

申请人：东丽株式会社

地址：日本东京都

国籍：JP

代理机构：中国专利代理()有限公司

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