专利名称：离子束均匀度检测装置及检测方法专利类型：发明专利
发明人：李斌,庞闻,苏文华,李家军申请号：CN201910305464.6申请日：20190416公开号：CN111830553A公开日：20201027
摘要：本发明提供了一种离子束均匀度检测装置及检测方法，所述离子束均匀度检测装置包括离子分束电流采样单元和分析计算单元，离子分束电流采样单元用于接收离子束，并获得离子束内多个位置的离子分束电流；分析计算单元根据多个位置的离子分束电流得到所述离子束均匀度是否满足控制要求。通过对多个位置的离子分束电流的分析，可以实时、精准的获知离子束的均匀度情况，及时调整离子植入机台以优化离子束，从而避免因离子束均匀度不好而导致的产品报废的问题，提高了产品良率。
申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江路18号
国籍：CN
代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：屈蘅
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