专利名称：24对棒多晶硅还原炉专利类型：实用新型专利发明人：王姗
申请号：CN201020215600.7申请日：20100604公开号：CN201785197U公开日：20110406
摘要：本24对棒多晶硅还原炉在炉子底盘上采用大对数电极、还原炉内壁设置光滑的银层，均匀设置多个进气喷嘴，使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分，多晶硅棒数量更多，从而显著提高了反应效率和单炉产量；并利用银的化学特性和良好的加工性，以及抛光后的镜面效果，在生产出纯度更高的多晶硅产品的同时，大幅度降低了能耗，大大降低了多晶硅的生产成本。
申请人：成都蜀菱科技发展有限公司
地址：610015 四川省成都市西御街8号西御大厦A座21楼
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容