一种真空罗茨泵机组及其控制方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN02149382.0 （22）申请日 2002.11.15

（71）申请人 北京丹鹏表面技术研究中心

地址 100096 北京市西三旗东建筑涂料厂院内

（10）申请公布号 CN140A （43）申请公布日 2003.03.26

（72）发明人 董骐;文学春;刘相武;田俊瑞;罗蓉平;杜建;钟钢 （74）专利代理机构 北京清亦华专利事务所

代理人 罗文群

（51）Int.CI

F04C29/10;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

一种真空罗茨泵机组及其控制方法

（57）摘要

本发明涉及一种真空罗茨泵机组及其控制

方法，属真空设备技术领域。该机组包括罗茨泵、旋片式机械泵、交流接触器、电流过流保护器和变频器，变频器与罗茨泵的电机相连接，罗茨泵电机由变频器控制。本发明的真空罗茨泵机组的控制方法，是用变频器控制罗茨泵电机，变频器从启动到输出正常工作频率所需时间＝与罗茨泵机组相连的真空系统的真空度从大气到10Pa

真空度所需的最短时间X(1±50％)。本发明的方法和装置，使罗茨泵缓慢起动，避免了罗茨泵内部转动部件、支撑件和转轴密封件的机械冲击，达到完全平稳地运行，降低罗茨泵工作噪音，有效延长罗茨泵的使用寿命；同时避免罗茨泵启动时由于电动机瞬间过载而对电力网络造成的冲击和干扰。

法律状态

法律状态公告日2003-03-26 2003-05-28 2003-06-04 2005-02-16

法律状态信息

公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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