专利名称：用于半导体器件的校正定位装置专利类型：实用新型专利发明人：范聚吉,林广满申请号：CN201822245451.8申请日：20181229公开号：CN209471943U公开日：20191008
摘要：本实用新型涉及半导体器件制造的技术领域，提供了一种用于半导体器件的校正定位装置，包括校正基座、中空的转向套筒、转动驱动组件、校正旋转座、定位台、校正组件以及校正驱动机构，转向套筒可转动地支撑在校正基座上，转动驱动组件能够使转向套筒转动，校正组件的校正臂构件枢转接附在校正旋转座上，校正驱动机构用于使校正臂构件相对校正旋转座转动，这样，在半导体器件放入定位台上后，校正驱动机驱动校正组件对该半导体器件校正和定位，再通过转动驱动组件使转向套筒转动，从而带动校正旋转座及半导体器件转动。与现有技术对比，本实用新型提供的用于半导体器件的校正定位装置，具有结构简单、工作效率高等优点。
申请人：深圳市深科达半导体科技有限公司
地址：518000 广东省深圳市宝安区福永街道征程二路2号B栋第二层
国籍：CN
代理机构：深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人：李艳丽
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