（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210555203.8 （22）申请日 2012.12.19
（71）申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
（10）申请公布号 CN103009534A
（43）申请公布日 2013.04.03
（72）发明人 李刚;汤腾;赵建龙
（74）专利代理机构 上海智信专利代理有限公司
代理人 潘振甦
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法
（57）摘要
本发明公开了一种集成微结构的PDMS薄
膜制作方法，其特征在于首先利用PDMS转模工艺将目标微结构从基于微加工工艺制作的母模复制至热熔性或水溶性材料表面，形成具有可熔化或溶解特性的牺牲层模具；然后在所制作牺牲层模具表面旋涂一薄层PDMS，同时在PDMS上压贴一胶片外框，待PDMS固化后，最后通过加热或浸入水中熔化或溶解牺牲层模具释放PDMS薄膜结构，并通过胶片外框辅助实现PDMS薄膜的转移和应
用。该方法利用牺牲层模具制作和释放集成微结构的PDMS薄膜，避免了传统手工机械剥离方法对PDMS薄膜的损坏，大大降低了制作脆弱PDMS薄膜结构的难度，提高了制作PDMS薄膜的成功率，可实现PDMS薄膜结构的高产率批量化生产。
法律状态
法律状态公告日
2013-04-03 2013-05-01 2016-01-20
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种集成微结构的PDMS薄膜制作方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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