数字微镜器件[实用新型专利]

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专利名称：数字微镜器件专利类型：实用新型专利发明人：毛剑宏,唐德明申请号：CN201120373680.3申请日：20110930公开号：CN202256877U公开日：20120530

摘要：一种数字微镜器件，数字微镜器件包括：基底，其上形成有微镜器件控制电路结构；数字微镜阵列，数字微镜阵列中的每一数字微镜包括反光镜、两个第一极板、两个第二极板、铰链；两个第二极板位于基底上，与微镜器件控制电路结构电连接；两个第一极板位于两个第二极板上方，且分别与两个第二极板相对；铰链位于第二极板上方；反光镜位于第一极板上方，且反光镜通过第一插栓与两个第一极板电连接，反光镜通过第二插栓与铰链电连接，铰链与微镜器件控制电路结构电连接；在第一极板和第二极板之间具有电压差时，反光镜绕铰链偏转。本实用新型结构简单，可以提高铰链的可靠性。

申请人：上海丽恒光微电子科技有限公司

地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼501B室

国籍：CN

代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：骆苏华

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