一种多镜头显微相机[实用新型专利]

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专利名称：一种多镜头显微相机专利类型：实用新型专利发明人：不公告发明人申请号：CN201922447800.9申请日：20191230公开号：CN211236535U公开日：20200811

摘要：本实用新型公开了一种多镜头显微相机，包括相机本体、过渡台阶、橡圈一、橡圈二、镜头一、镜头二、光源一和光源二，所述过渡台阶设置在相机本体上，所述橡圈一、橡圈二分别设置在过渡台阶上，所述镜头一与橡圈一连接，镜头二与橡圈二连接，所述光源一、光源二均为同轴光源，所述光源一、光源二分别从侧面与镜头一、镜头二连接。本实用新型通过一组同轴光源对晶圆进行补光，补光均匀性好、亮度高，此外再通过双镜头扫描获取晶圆表面图像，扫描效率高、图像清晰度佳，从而可以提高检测效率及检测精度。

申请人：无锡旭锠智能科技有限公司

地址：214000 江苏省无锡市新吴区新华路5号创新创意园产业园B栋213-215室

国籍：CN

代理机构：北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：陆滢炎

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