一种扫频光源及其制作方法[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种扫频光源及其制作方法专利类型：发明专利

发明人：付红岩,谢启浩,陈震旻申请号：CN201910074468.8申请日：20190125公开号：CN1096384A公开日：20190416

摘要：本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法，扫频光源包括：依次叠层设置的第一电极、第一衬底、第一分布式布拉格反射镜、有源层和第二电极，所述第二电极位于所述非透光区域；框架，位于所述第二电极远离所述第一衬底一侧，且位于所述第二电极远离所述透光区域一侧，所述框架围绕所述第二电极一周；悬臂梁结构，固定于所述框架上，所述悬臂梁结构包括同层设置且相互连接的支撑膜和至少两个悬臂梁，所述支撑膜位于所述透光区域，所述悬臂梁位于所述非透光区域；第二分布式布拉格反射镜，固定于所述支撑膜上；压电结构，固定于所述悬臂梁上。本发明实施例提供一种扫频光源及其制作方法，以实现提供一种新型的扫频光源。

申请人：清华-伯克利深圳学院筹备办公室

地址：518055 广东省深圳市南山区学苑大道1001号南山智园

国籍：CN

代理机构：北京品源专利代理有限公司

代理人：孟金喆

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