专利名称：基板和其制造方法专利类型：发明专利
发明人：伊藤顺一,矢部淳司,关口淳之辅,伊森彻申请号：CN200880119763.0申请日：20081126公开号：CN101889333A公开日：20101117
摘要：本发明的目的在于提供一种高温加热时的阻挡性优异，带有具有阻挡能力和催化能力的防止铜扩散用阻挡膜的基板、和其制造方法。本发明提供了一种基板，其特征在于，在基材上具有防止铜扩散用阻挡膜，所述防止铜扩散用阻挡膜含有：选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素，对铂、金、银、钯等的化学镀具有催化能力的金属元素，以及以所述选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素的氮化物的形式被含有的氮。所述防止铜扩散用阻挡膜是通过使用含有选自钨、钼和铌中的一种以上金属元素和选自上述对化学镀具有催化能力的金属元素中的一种以上金属元素的靶源，在氮气氛围中溅射，从而制造的。
申请人：日矿金属株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京市中咨律师事务所
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