专利名称：光学检测装置专利类型：发明专利
发明人：黄炜展,洪朝阳,郑智杰,吕尚杰申请号：CN200610172543.7申请日：20061229公开号：CN101210886A公开日：20080702
摘要：光学检测装置包括多个光学感测器、多个取像单元、多个检测单元、多个子控制单元、整合单元及主控制单元。这些光学感测器用以感测基板。这些取像单元分别用以驱动这些光学感测器，以采集多个图像信息。这些检测单元分别用以检测这些图像信息，并输出多个检测信息。这些子控制单元分别用以控制这些取像单元及这些检测单元。整合单元用以整合这些检测信息，并输出检测结果。主控制单元用以控制这些子控制单元。
申请人：财团法人工业技术研究院
地址：中国台湾新竹县
国籍：CN
代理机构：北京市柳沈律师事务所
代理人：陶凤波
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