专利名称：一种制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法专利类型：发明专利
发明人：丁爱丽,何夕云,仇萍荪,罗维根申请号：CN00125278.X申请日：20000919公开号：CN1288976A公开日：20010328
摘要：本发明涉及一种新的制备锆钛酸铅(PZT)厚膜的方法,属于陶瓷厚膜的制备领域。本方法的要点是制备一种特殊的前驱液,这种前驱液是由Pb,Zr,Ti的水解物的聚集物与PbZrTiO(简写PZT)溶液混合而成。Pb,Zr,Ti的水解物和PZT溶液具有相同的化学配比:Pb∶Zr∶Ti=1∶X∶(1－X)，0≤X≤1。这种前驱液通过甩胶淀积在衬底上,然后经热解、退火处理后在衬底上形成结晶的PZT厚膜。本方法具有容易制备厚的膜层、不易开裂,性能均匀且优异等的特点。
申请人：中国科学院上海硅酸盐研究所
地址：200050 上海市定西路1295号
国籍：CN
代理机构：上海华东专利事务所
代理人：潘振苏
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