专利名称：一种工件表面综合精度的精密检测装置及检测方法专利类型：发明专利
发明人：罗少轩,彭锦耀,乔爱民,张炜申请号：CN201910365483.8申请日：20190430公开号：CN109974633A公开日：20190705
摘要：本发明公开了一种工件表面综合精度的精密检测装置及检测方法，检测装置包括有设置于箱体内的差动气桥气路、气压传感器和控制电路，以及外置的标准测头；差动气桥气路的两个进出气孔的进气端均与进气口连通，其中一个进出气孔的出气端与气压调节器连接，另一个进出气孔的出气端与出气口连接，气压传感器连接于两个进出气孔之间；气压传感器的信号输出端与控制电路连接；标准测头上设置有测头基准面，箱体上的出气口与标准测头上的进气管连通。本发明根据待检元件表面综合精度不同导致与高精度标准测头的标准基准面之间的间隙变化，通过对差动气桥气路中的压差变化进行检测，可快速准确测量元件表面综合精度，检测方法简单快速，检测精度高。
申请人：蚌埠传感器系统工程有限公司
地址：233040 安徽省蚌埠市解放北路899号第E6A栋1单元3层01032号
国籍：CN
代理机构：蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
代理人：王琪
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