专利名称：一种硅片腐蚀装置专利类型：发明专利发明人：庄须叶
申请号：CN201811167918.X申请日：20181008公开号：CN109142206A公开日：20190104
摘要：本发明提供一种硅片腐蚀装置，其特征在于：它包括水浴箱（1），在水浴箱（1）内设有一对壁板（5），在一对壁板（5）之间跨接有腐蚀槽（2），在腐蚀槽（2）内设有腐蚀液（3），设置硅片腐蚀架（4），硅片腐蚀架包括浸入腐蚀液（3）的下板（4a）和跨设在腐蚀槽（2）上方的上板（4b）,在上、下板之间设有一组拉杆（4c）,在下板（4a）上设有一组硅片支撑座（4d），在上板（4b）上均布有一组升降装置（4e）。本发明结构简单、使用方便、能确保硅片在腐蚀液中始终保持水平状态。
申请人：北方电子研究院安徽有限公司
地址：233030 安徽省蚌埠市经济开发区汤和路2016号
国籍：CN
代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人：杨晋弘
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