专利名称：压电膜器件和压电膜装置专利类型：发明专利
发明人：柴田宪治,末永和史,渡边和俊,野本明,堀切文正申请号：CN201180029026.3申请日：20110330公开号：CN102959751A公开日：20130306
摘要：在基板上具有压电膜的压电膜器件，其中，所述压电膜具有用通式(KNa)NbO（0＜x＜1）表示的碱金属铌氧化物系的钙钛矿结构，所述碱金属铌氧化物系的组成为0.40≤x≤0.70且
0.77≤y≤0.90的范围，此外，所述(KNa)NbO膜的面外方向晶格常数c与面内方向晶格常数a的比为0.985≤c/a≤1.008的范围。
申请人：日立电线株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- yrrf.cn 版权所有 赣ICP备2024042794号-2
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务