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一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置[发明专利]

来源：意榕旅游网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励

的激波激励装置

专利类型：发明专利

发明人：佘东生,杨一柳,魏泽飞,李琨,韩莹申请号：CN201610866661.1申请日：20160930公开号：CN1077518A公开日：20170308

摘要：本发明公开了一种可在高温环境下对MEMS金属微结构进行激励的激波激励装置，包括设在基板上的手动三轴位移台和支座，在手动三轴位移台上设有针电极单元，其针电极指向微结构单元；微结构单元包括安装套，其安装孔内设有弹性底座和加热环体，弹性底座为圆环形薄片状并在其中部设有环形凸台，其外侧大孔内镶装有板电极，弹性底座内侧通过微结构压板压装MEMS金属微结构；在加热环体上插入有电加热棒；安装套内通过罩体和弹性底座形成一个密闭空间，MEMS金属微结构位于该密闭空间内；针电极和板电极分别与高压电容电联接，高压电容两极分别联接至高压电源正负极。优点是结构安装牢固，操作简便安全，温度控制精准，便于测试MEMS金属微结构的动态特性参数。

申请人：渤海大学

地址：121000 辽宁省锦州市松山新区科技路19号

国籍：CN

代理机构：锦州辽西专利事务所

代理人：李辉

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