专利名称：一种氮气加热装置专利类型：实用新型专利发明人：左国军
申请号：CN201220569608.2申请日：20121101公开号：CN202955946U公开日：20130529
摘要：本实用新型公开了一种用于硅片烘干的氮气加热装置，包括：空气加热包，其内设有加热管道；氮气加热包，其内设有与空气换热的氮气盘管；连接空气加热包出口和氮气加热包入口的抽风管道，该抽风管道上设有抽风机；连接氮气加热包中空气出口与空气加热包入口的回气管道；所述的氮气盘管的出口通过保温管和分流管与烘箱连接。本实用新型能够有效烘干硅片，且保证了硅片的高纯度，提高生产质量。
申请人：常州捷佳创精密机械有限公司
地址：213125 江苏省常州市新北区机电工业园宝塔山路9号
国籍：CN
代理机构：深圳市康弘知识产权代理有限公司
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