专利名称：一种在无水氟化氢生产系统中制造负压的方法及设
备
专利类型：发明专利
发明人：黄荫禄,戚道佐,陈祥衡申请号：CN201010547062.6申请日：20101117公开号：CN102029101A公开日：20110427
摘要：本发明公开了一种无水氟化氢生产系统尾气处理的工艺及设备，特别公开了一种在无水氟化氢生产系统中制造负压的方法及设备。该在无水氟化氢生产系统中制造负压的方法，在吸收塔尾气排放口增设相串联的一级吸收罐和二级吸收罐，二级吸收罐后侧连接有相并联的两台负压循环罐，使尾气依次通过一级吸收罐、二级吸收罐、水喷射器及负压循环罐，尾气中的氟化氢、氟硅酸、硫化氢被水吸收生成副产商品氟硅酸并通过远程控制实现系统内负压状态。该在无水氟化氢生产系统中制造负压的方法及设备，系统内负压稳定，通过两级吸收罐吸收尾气，可保证排出的气体中无污染气体，通过由低到高的循环吸收，可达到污水零排放，氟硅酸质量稳定可控，满足客户多样化要求。
申请人：山东兴氟新材料有限公司
地址：251500 山东省德州市临邑县经济开发区富民路西侧
国籍：CN
代理机构：济南泉城专利商标事务所
代理人：张贵宾
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